ပုံနှိပ်ကျောက်စက် မျက်နှာဖုံးညှိစက် ဓာတ်ပုံထွင်းစက်

သတ်မှတ်ချက်

၁။ ထိတွေ့ဧရိယာ- ၁၁၀ မီလီမီတာ × ၁၁၀ မီလီမီတာ
၂။ ★ ထိတွေ့မှုလှိုင်းအလျား: ၃၆၅nm;
၃။ ရုပ်ထွက်အရည်အသွေး: ≤ ၁ မီတာ;
၄။ ချိန်ညှိမှုတိကျမှု: ၀.၈ မီတာ;
၅။ alignment စနစ်၏ scanning table ၏ ရွေ့လျားမှုအကွာအဝေးသည် အနည်းဆုံး ပြည့်မီရမည်- Y: 10mm;
၆။ ချိန်ညှိစနစ်၏ ဘယ်နှင့်ညာ မီးပြွန်များသည် X၊ y နှင့် Z ဦးတည်ချက်များဖြင့် သီးခြားစီ ရွေ့လျားနိုင်ပြီး X ဦးတည်ချက်- ± 5mm၊ Y ဦးတည်ချက်- ± 5mm နှင့် Z ဦးတည်ချက်- ± 5mm။
၇။ မျက်နှာဖုံးအရွယ်အစား- ၂.၅ လက်မ၊ ၃ လက်မ၊ ၄ လက်မ၊ ၅ လက်မ။
၈။ နမူနာအရွယ်အစား- အပိုင်းအစ၊ ၂ "၊ ၃"၊ ၄ ";
၉။ ★ နမူနာအထူအတွက် သင့်တော်သည်- ၀.၅-၆ မီလီမီတာ၊ အများဆုံး ၂၀ မီလီမီတာ နမူနာအပိုင်းအစများကို ထောက်ပံ့နိုင်သည် (စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သည်)။
၁၀။ ထိတွေ့မှုမုဒ်- အချိန်ကိုက် (ရေတွက်မုဒ်)။
၁၁။ အလင်းရောင် တသမတ်တည်း မရှိခြင်း- < ၂.၅%;
၁၂။ Dual field CCD alignment မိုက်ခရိုစကုပ်- zoom မှန်ဘီလူး (၁-၅ ဆ) + မိုက်ခရိုစကုပ် မှန်ဘီလူး။
၁၃။ နမူနာနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက မျက်နှာဖုံး၏ ရွေ့လျားမှု အကွာအဝေးသည် အနည်းဆုံး X: 5mm; Y: 5mm; : 6º ရှိရမည်။
၁၄။ ★ ထိတွေ့မှုစွမ်းအင်သိပ်သည်းဆ: > 30MW / cm2၊
၁၅။ ★ alignment position နှင့် exposure position သည် station နှစ်ခုတွင် အလုပ်လုပ်ပြီး station နှစ်ခု servo motor သည် အလိုအလျောက် ပြောင်းသည်။
၁၆။ ထိတွေ့မှုဖိအားကို ချိန်ညှိခြင်းသည် အာရုံခံကိရိယာမှတစ်ဆင့် ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှုကို သေချာစေသည်။
၁၇။ ★ alignment gap နှင့် exposure gap ကို digital ဖြင့် သတ်မှတ်နိုင်သည်။
၁၈။ ★ ၎င်းတွင် nano imprint interface နှင့် proximity interface ရှိသည်။
၁၉။ ★ ထိတွေ့မျက်နှာပြင် လည်ပတ်မှု;
၂၀။ အလုံးစုံအတိုင်းအတာ: ၁၄၀၀ မီလီမီတာခန့် (အရှည်) ၉၀၀ မီလီမီတာ (အကျယ်) ၁၅၀၀ မီလီမီတာ (အမြင့်)။