lithography စက် Mask Aligner Photo-etching machine
ထုတ်ကုန်နိဒါန်း
ထိတွေ့မှုအလင်းရောင်သည်တင်သွင်းထားသောခရမ်းလွန် LED နှင့်အလင်းရင်းမြစ်ပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံပုံဖော်ခြင်း
Inverted Lighting ဖွဲ့စည်းပုံတွင်ကောင်းမွန်သောအပူပိုင်းဖြန့်ဖြူးသောအကျိုးသက်ရောက်မှုနှင့်အလင်းအရင်းအမြစ်များကိုအနီးကပ်အကျိုးသက်ရောက်သည်။ မြင့်မားသောချဲ့ကြည့်သော dual-field microscope နှင့် 21 လက်မအရွယ် LCD တပ်ဆင်ထားပြီး 21 လက်မအရွယ် LCD တို့တပ်ဆင်ထားသည်
Eyepiece သို့မဟုတ် CCD + display, မြင့်မားသော alignment တိကျမှန်ကန်မှု,
အင်္ဂါရပ်များ
fragment အပြောင်းအလဲနဲ့ function ကိုအတူ
leveling အဆက်အသွယ်ဖိအားကိုအာရုံခံကိရိယာမှတဆင့်ပြန်လုပ်
အဆိုပါ alignment ကွာဟချက်နှင့်ထိတွေ့မှုကွာဟချက်ကိုဒီဂျစ်တယ်အဖြစ်သတ်မှတ်နိုင်ပါတယ်
Embedded Computer + Touch screen operty, ရိုးရှင်းပြီးအဆင်ပြေချောမွေ့,
type up and down plate, ရိုးရှင်းသောနှင့်အဆင်ပြေဆွဲပါ
ဖုန်စ်ဖိုးမြမ်နှင့်ထိတွေ့ခြင်း,
nano Imprint interface function ကိုအတူ
တစ်ခုတည်းသောသော့ချက်နှင့်အလိုအလျောက်အဆင့်မြင့်ခြင်းနှင့်အတူတစ်ခုတည်းအလွှာထိတွေ့မှု
ဤစက်သည်ကောင်းမွန်သောယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့်အဆင်ပြေသောဆန္ဒပြပွဲများရှိပြီးအထူးသဖြင့်ကောလိပ်များနှင့်တက္ကသိုလ်များရှိသင်ကြားရေး, သိပ္ပံနည်းကျသုတေသနနှင့်စက်ရုံများအတွက်သင့်တော်သည်
အသေးစိတ်အချက်အလက်များ
အသေးစိတ်အချက်အလက်
1 ။ ထိတွေ့မှု area ရိယာ: 110mm × 110mm;
2 ။ ★ထိတွေ့မှုလှိုင်းအလျား: 365nm;
3 ။ ဆုံးဖြတ်ချက်: ≤ 1m;
4 ။ alignment တိကျမှန်ကန်မှု: 0.8 မီတာ;
5. alignment system ၏စကင်ဖတ်စစ်ဆေးသည့်ဇယား၏ရွေ့လျားမှုအကွာအဝေးသည်အနည်းဆုံးတွေ့ရမည်။ Y: 10mm;
6 ။ ဘယ်ဘက်နှင့်ညာအလင်းရောင်ပြွန်များသည် x, y နှင့် z လမ်းညွှန်ချက်များ, x လမ်းညွှန်ချက်, x လမ်းညွှန်ချက် - ± 5mm, y လမ်းညွှန်မှု: ± 5mm နှင့် Z လမ်းညွှန်: ± 5mm;
7 ။ မျက်နှာဖုံးအရွယ်အစား - 2.5 လက်မ, 3 လက်မ, 4 လက်မ, 5 လက်မ,
8 ။ SAMPES အရွယ်အစား: အပိုင်းအစ 2 ", 3",
9 ။ နမူနာအထူအတွက်သင့်တော်သော 0.5-6 မီလီမီတာနှင့် 20 မီလီမီတာနမူနာအပိုင်းအစများကိုအများဆုံး (စိတ်ကြိုက်)
10 ။ ထိတွေ့မှု Mode: Timing (Countdown Mode),
11 ။ အလင်းရောင်မဟုတ်သောမတူကွဲပြားမှု - <2.5%,
12 ။ Dual Dual Field CCD alignment microscope: zoom မှန်ဘီလူး (1-5 ကြိမ်) + Microncope ရည်ရွယ်ချက်မှန်ဘီလူး;
13 ။ y: 5mm; : 6º;
14 ။ ★ထိတွေ့မှုစွမ်းအင်သိပ်သည်းဆ:> 30mw / cm2,
15 ။ ★ ALAGNIMENTER အနေအထားနှင့်ထိတွေ့မှုအနေအထားသည်ဘူတာနှစ်ခုဖြင့်အလုပ်လုပ်သည်။
16 ။ ဆက်သွယ်ရန်ဖိအားပေးမှုသည်အာရုံခံကိရိယာမှတဆင့်ထပ်ခါတလဲလဲထပ်ခါတလဲလဲဖြစ်စေသည်။
17 ။ ★ဒီဂျစ်တယ်ကွာဟချက်နှင့်ထိတွေ့မှုကွာဟချက်ကိုဒီဂျစ်တယ်အရသတ်မှတ်နိုင်သည်။
18 ။ ★၎င်းသည် nano Imprace Interface နှင့် Proximity interface ရှိပါသည်။
19 ။ ★မျက်နှာပြင်စစ်ဆင်ရေး,
20 ။ ခြုံငုံရှုထောင့် - 1400 မီလီမီတာ (အရှည်) 900 မီလီမီတာ (အကျယ်) 1500 မီလီမီတာ (အမြင့်) ။
